為朝半導體製造的1奈米甚至埃米（0.1奈米）世代超前部署，據高雄市府知情官員透露，台積電（2330）正為2奈米之後的先進製程持續覓地，包含橋頭科、路竹科，均在台積電評估中長期投資設廠的考量之列。

關於是否前進高雄，台積電昨（27）日維持董事長劉德音日前的論調，「以後有機會，短期沒規劃」。

劉德音日前強調，台積電在北中南的投資規劃各占三分之一，5奈米製程以南科為主，預計會占六、七成，2奈米製程投資將在竹科二期擴大地，竹科擴大二期如果不夠的話，中科台積電廠區旁邊還有一塊土地可供後續使用。

台積電的晶圓製造製程已發展到2奈米，並朝1奈米甚至埃米等級的製程加速布局。行政院副院長沈榮津也曾允諾，將竭力協助台積電在1奈米與各項投資上，解決土地、水、電等需求，要維持其在先進製程保持全球領先地位。

高市府官員透露，台積正持續在探尋「2奈米以後」的設廠用地，曾為此接觸過市府，其需求是要能有一塊完整且既成的設廠用地，而橋頭科、路竹科，都在其中長期設廠投資的探詢之列，不過考量用地大小，橋頭科更為適宜。

不僅台積電開始超前部署覓地，行政院也規劃在2021年至2025年間，投入43.72億元推動「Å（埃米）世代半導體」計畫，要先由政府「花學費」，從設備，儀器，材料與製程技術瓶頸等探路，作為半導體業界未來投資方向的「探照燈」。

根據規劃，科技部長吳政忠所提出六個加強發展的主軸，其一為攸關我國半導體產業未來發展的「Å 世代半導體」，意指半導體在進入3奈米製程後，接下將進入Å（埃米） 領域，因此政府與業界也開始著手布局。

政院官員透露，半導體技術在1奈米以下會開始遇到瓶頸，但並非不可突破，因半導體界尚無如此前瞻的研究，產業界也尚無餘力處理，因此在諮詢過半導體界意見後，挑出基本可探索的方向，進行前瞻技術研究，建立此領域的基礎技術能量。